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    濕法腐蝕清洗系統

    發布時間:2020-10-05 作者:魯超超聲 點擊:111次

    濕法腐蝕清洗系統(圖1)

     

     

    主要特點:

    成熟的模塊化工藝組合

    可面向用戶工藝需要,定制化設計

    已應用于20nm級別IC工藝線

    針對LED生產線,提高整體解決方案

    全自動清洗/手動清洗可選

    整機防漏液設計

    廣泛應用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導體材料等行業

    標準配置:

    高純進口板材

    高結晶工藝管道

    高潔凈氣動閥門

    防腐機械手

    伺服電機驅動

    人機對話界面,觸摸屏操作

    標準工藝模塊

    SC-I溶液腐蝕槽

    SC-II溶液腐蝕槽

    SC-III溶液腐蝕槽

    QDR槽

    循環清洗槽

    超聲/兆聲清洗槽

    可選模塊:

    鼓氮

    水溶超聲/水浴兆聲槽

    槽內加熱/制冷循環

    漏液檢測

    水阻檢測

    自動供液系統

    自動配液系統

    自動滅火系統(有機清洗)

    ESD功能(有機清洗)

    MES接口(可選)

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